[Equipment List]
HORIBA, CS-131C-37, Chemical Concentration Monitor
안녕하세요.
중고 반도체, 연구 장비, 각종 산업 장비 및 부품을 거래하는 세미스토리 입니다. 오늘 소개해드릴 장비는 호리바 화학 농도 분석기 입니다.
HORIBA의 CS-131C-37은 반도체 웨이퍼 세정 공정에서 사용되는 SC-1 용액(NH₃, H₂O₂, 물 혼합액)의 농도를 실시간으로 측정하고 관리하는 장비입니다. 이 장비는 흡광도 분광법을 이용해 용액의 각 성분 농도를 빠르고 정확하게 분석하며 공정의 안정성을 높이고 화학 약품의 낭비를 줄이는 데 도움을 줍니다. CS-131C-37 모델은 약 2초 만에 측정 결과를 제공할 정도로 응답 속도가 빠르며 이를 통해 300mm 웨이퍼 라인 같은 고속 생산 공정에서도 실시간 피드백과 제어가 가능합니다.
기존 모델보다 크기가 작아 공간을 덜 차지하며 내장형 냉각 유닛을 통해 고온 샘플도 안정적으로 측정할 수 있습니다. 이 장비는 내부에 기포 제거 탱크와 전자밸브를 갖추어 시료 내 기포를 자동으로 제거하며 측정 온도를 보상해 더 정확한 값을 제공합니다. 또한 RS-232C 직렬 통신을 지원해 컴퓨터나 중앙 제어 시스템과 쉽게 연결할 수 있고 농도 값과 알람 상태를 아날로그(4–20mA)와 병렬 출력으로 전달할 수 있어 자동화된 공정 제어에 최적화되어 있습니다. 주로 반도체 제조사나 화학약품 공급업체에서 사용되며 세정 공정의 품질을 일정하게 유지하고 불필요한 화학물 사용을 줄여 비용 절감과 환경 부하를 줄이는 데 기여하는 장비입니다.
[EQUIPMENT SPEC]
ID | 199220379 |
Equipment | Chemical Concentration Monitor |
Description | Full Auto System, Mass 11kg |
Maker | HORIBA |
Model | CS-131C-37 |
Vintage | 2010.06 |
Condition | As-is |
Quantity | 1 |
현 장비는 화성 공장에서 둘러보실 수 있으며, 위 장비에 관심이 있으시거나 기타 문의 사항이 있으실 경우 언제든지 연락 부탁 드립니다.
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